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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 纳米光刻中调焦调平测量系统的工艺相关性 期刊论文 光学学报, 2016 作者:  李世光;  叶甜春;  孙裕文 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/05/09 中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考 期刊论文 中国制造业信息化（应用版）, 2006, 期号: 4, 页码: 53-55 作者:  叶甜春 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/05/26 装备制造业  集成电路  自主创新  中国  基础理论  自动控制  真空技术  精密机械  光学加工  研究和应用