中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考

	中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考
	叶甜春
刊名	中国制造业信息化（应用版）
	2006
期号	4 页码:53-55
关键词	装备制造业集成电路自主创新中国基础理论自动控制真空技术精密机械光学加工研究和应用
ISSN号	1672-1616
产权排序	1
英文摘要	集成电路装备集成了基础理论，基础材料、器件物理、计算机、自动控制、光学、化学、真空技术、精密机械、装备制造、统计分析、计量学、环境超洁净控制科技领域的最新成就，是基础研究和应用研究共同发展的产物，许多技术已经在挑战机械、光学加工等方面的物理极限，集成电路装备业已成为高技术装备产业的典型代表。
语种	中文
公开日期	2010-05-26
内容类型	期刊论文
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/1382]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	叶甜春. 中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考[J]. 中国制造业信息化（应用版）,2006(4):53-55.
APA	叶甜春.(2006).中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考.中国制造业信息化（应用版）(4),53-55.
MLA	叶甜春."中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考".中国制造业信息化（应用版） .4(2006):53-55.