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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻分辨率增强技术研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1高松波,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/10/18 分辨率增强技术  相移掩模  离轴照明  邻近效应校正  相移式邻近效应校正 RET  PSM  OAI  OPC  PSOPC  immersion lithography   Numerical Evaluation for the Thermal Stability Profile in High Temperature Superconductive Coil Working with High Current Shock 期刊论文 低温物理学报, 2006 肖立业 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/09/29 基于工业PC的6轴伺服控制卡的研究和实现 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2001 1高盛涛,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/10/18 伺服控制卡  在线可编程逻辑器件  6轴联动算法 DSP  servo-control  ispLSI  coordinated principle of 6-Axis