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| 基于SEM的微纳操作系统自动作业技术研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2009
1李勇滔,电工研究所
  收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 混合动力汽车自动变速系统的研究 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2009
1何剑,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 光刻机投影物镜波像差在线检测关键技术研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1刘克,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 纳米压印工艺技术研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1司卫华,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 深亚微米/纳米集成电路互连线寄生电容的提取和敏感度分析 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1屈慧,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 高数值孔径光刻中光的传播与成像研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1周远,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：73/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 光刻分辨率增强技术研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1高松波,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 基于扫描电子显微镜的图形检测系统设计 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2007
1任胜先,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 分辨率增强技术在ArF光刻中的应用 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2007
1孙知渊,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 液体热效应对浸没式ArF光刻性能影响的研究 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2007
1樊明哲,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2010/10/18
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