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科研机构
上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2003 [1]
1993 [1]
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超薄SOI上应变锗硅材料的生长
会议论文
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003
狄增峰
;
张苗
;
吴雁军
;
安正华
;
朱鸣
;
刘卫丽
;
林成鲁
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提交时间:2012/01/18
超薄SOI 锗硅材料 SiGe薄膜
SIMOX上外延层的TEM研究
会议论文
第七次全国电子显微学会议论文摘要集, 1993-03
倪如山
;
朱文化
;
林成鲁
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提交时间:2012/01/18
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