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一种用负性化学放大抗蚀剂曝光亚50nm图形的方法 专利
专利号: CN200510008008.3, 申请日期: 2008-05-28, 公开日期: 2006-08-16
作者:  徐秋霞;  刘明;  王云翔;  陈宝钦
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