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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：空间技术     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计 期刊论文 真空科学与技术学报, 2004, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 451-454 尤大伟; 黄小刚; 任荆学; 李安杰 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2014/04/30 宽束  离子源  薄膜制备  光学薄膜  离子束  感应线圈  匹配  射频  镀膜  高性能   走向工业应用的离子辅助光学镀膜技术 期刊论文 微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 1-5 尤大伟; 李晓谦; 王怡德; 林永 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2014/04/30 等离子体离子辅助镀膜  无栅等离子体源  光学镀膜