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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2009     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 先进光学磨削中杯形修整技术开发及应用 期刊论文 2009 王振忠; 郭隐彪; 黄浩; 何良宇 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2016/05/17 超精密磨削  杯形砂轮  修整  表面质量  数据处理  ultra-precision grinding  cup wheel  truing and dressing  surface quality  data processing   Material Removal Mechanism of Chemo-mechanical Grinding (CMG) of Si Wafer by Using Soft Abrasive Grinding Wheel (SAGW) 会议论文 11th International Symposium on Advances in Abrasive Technology, Awaji City, JAPAN, 2009-01-01 作者:  Guo, D. M.;  Tian, Y. B.;  Kang, R. K.;  Zhou, L.;  Lei, M. K. 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/24 Silicon wafers  mechanism  ultra-precision grinding  CMG  XPS  SAGW