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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of capacitive micromachined ultrasonic transducers with low-temperature direct wafer-Bonding technology 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2017, 卷号: 264, 页码: 63-75 作者:  Zhao, Libo;  Li, Jie;  Li, Zhikang;  Zhang, Jiawang;  Zhao, Yihe 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/11/26 Thermal deflection  Parasitic capacitance  Low temperature direct wafer-bonding  CMUTs  Thermal stress