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科研机构
上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
专利 [3]
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2006 [5]
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发表日期:2006
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以多孔氮化镓作为衬底的氮化镓膜的生长方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1828837, 申请日期: 2006-09-06, 公开日期: 2006-09-06
雷本亮
;
于广辉
;
王笑龙
;
齐鸣
;
孟胜
;
李爱珍
收藏
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2012/01/06
氢化物气相外延生长氮化镓膜中的氧化铝掩膜及制备方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1744287, 申请日期: 2006-03-08, 公开日期: 2006-03-08
雷本亮
;
于广辉
;
齐鸣
;
叶好华
;
孟胜
;
李爱珍
收藏
  |  
浏览/下载:28/0
  |  
提交时间:2012/01/06
氢化物气相外延生长氮化镓膜中的金属插入层及制备方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1737195, 申请日期: 2006-02-22, 公开日期: 2006-02-22
雷本亮
;
于广辉
;
齐鸣
;
叶好华
;
孟胜
;
李爱珍
收藏
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浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2012/01/06
纳米孔氮化镓材料的制备和研究
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 期号: 04
王笑龙
;
于广辉
;
雷本亮
;
隋妍萍
;
孟胜
;
齐鸣
;
李爱珍
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/06
共面波导
传输线
绝缘体上硅
地屏蔽
纳米多孔氮化镓制备及氮化镓干法刻蚀损伤回复研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
王笑龙
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/06
GaN
ICP
纳米
损伤
回复
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