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以多孔氮化镓作为衬底的氮化镓膜的生长方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1828837, 申请日期: 2006-09-06, 公开日期: 2006-09-06
雷本亮; 于广辉; 王笑龙; 齐鸣; 孟胜; 李爱珍
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氢化物气相外延生长氮化镓膜中的氧化铝掩膜及制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1744287, 申请日期: 2006-03-08, 公开日期: 2006-03-08
雷本亮; 于广辉; 齐鸣; 叶好华; 孟胜; 李爱珍
收藏  |  浏览/下载:28/0  |  提交时间:2012/01/06
氢化物气相外延生长氮化镓膜中的金属插入层及制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1737195, 申请日期: 2006-02-22, 公开日期: 2006-02-22
雷本亮; 于广辉; 齐鸣; 叶好华; 孟胜; 李爱珍
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纳米孔氮化镓材料的制备和研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 期号: 04
王笑龙; 于广辉; 雷本亮; 隋妍萍; 孟胜; 齐鸣; 李爱珍
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纳米多孔氮化镓制备及氮化镓干法刻蚀损伤回复研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2006
王笑龙  
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GaN  ICP  纳米  损伤  回复    


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