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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2000     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种采用双面对准的硅LIGA掩模制作研究 期刊论文 微细加工技术, 2000, 期号: 4, 页码: 45-49 作者:  刘泽文;  刘理天;  伊福廷;  李志坚 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线  光刻  LIGA  MEMS  掩模