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清华大学 [3]
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2010 [3]
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硅通孔互连技术的开发与应用
期刊论文
2010, 2010
封国强
;
蔡坚
;
王水弟
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硅通孔互连技术的开发与应用
期刊论文
2010, 2010
封国强
;
蔡坚
;
王水弟
;
FENG Guo-qiang
;
CAI Jian
;
WANG Shui-di
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High aspect ratio copper through-silicon-vias for 3D integration
会议论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 12th European Workshop on Materials for Advanced Metallization, Dresden, GERMANY, Web of Science
Song, Chongshen
;
Wang, Zheyao
;
Chen, Qianwen
;
Cai, Jian
;
Liu, Litian
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