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西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
期刊论文 [5]
会议论文 [2]
发表日期
2020 [1]
2014 [2]
2010 [2]
2009 [1]
1999 [1]
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Single multimode fiber focused spot scanning based on a liquid crystal spatial light modulator
会议论文
Shanghai, China, 2020-10-17
作者:
Zhang, Zaikun
;
Geng, Yi
;
Chen, Hui
;
Wang, Ruiduo
;
He, Zhengquan
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
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提交时间:2021/01/20
single multimode fiber
parallel phase compensation method
phase mask
focused spots
spatial light modulator
two-step phase-shifting technique
specklegrams
wavefront shaping
Aberration measurement technique based on an analytical linear model of a through-focus aerial image
期刊论文
opt. express, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 5623
作者:
Yan, Guanyong
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yang, Jishuo
;
Xu, Dongbo
收藏
  |  
浏览/下载:28/0
  |  
提交时间:2016/11/28
NIJBOER-ZERNIKE APPROACH
POINT-SPREAD FUNCTIONS
PHASE-SHIFTING MASK
LITHOGRAPHIC TOOLS
PROJECTION OPTICS
COMA MEASUREMENT
ILLUMINATION
COMPUTATION
Aberration measurement technique based on an analytical linear model of a through-focus aerial image
期刊论文
opt. express, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 5623
作者:
Yan, Guanyong
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yang, Jishuo
;
Xu, Dongbo
收藏
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浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2016/11/28
NIJBOER-ZERNIKE APPROACH
POINT-SPREAD FUNCTIONS
PHASE-SHIFTING MASK
LITHOGRAPHIC TOOLS
PROJECTION OPTICS
COMA MEASUREMENT
ILLUMINATION
COMPUTATION
Super-resolution optical mastering system using blue laser and high-numeric aperture lens
会议论文
ADVANCES IN OPTICAL DATA STORAGE TECHNOLOGY, Conference on Advances in Optical Data Storage Technology, Beijing, PEOPLES R CHINA, Web of Science, INSPEC
Fan, XD
;
Xu, DY
;
Qi, GS
;
Jiang, PJ
;
Qian, K
收藏
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浏览/下载:5/0
Adaptive layout partitioning for dark field alternating phase-shift mask design
期刊论文
2010, 2010
Wang Di
;
Wu Weimin
;
Hong Xianlong
收藏
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浏览/下载:3/0
Highly parallel rigorous simulations of phase-shift masks with a generalized eigen-oscillation spectral element method
期刊论文
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 2009, 卷号: 8, 期号: 3, 页码: 13
作者:
Zong, Ke
;
Zeng, Xuan
;
Ji, Xia
;
Cai, Wei
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2018/07/30
lithography simulation
phase-shifting mask
spectral method
eigen oscillations
discontinuous Galerkin method
Schwarz domain decomposition iteration
Simultaneous calibration algorithm of phase-shifting based on FFT
期刊论文
PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE), 1999, 卷号: Vol.3749, 页码: 544-545
作者:
Li, WS
;
Su, LK
;
Su, XY
;
Xiang, LQ
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/02/25
PMP
FFT
phase-shifting calibrate
modulation mask
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