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科研机构
兰州化学物理研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2011 [1]
学科主题
材料科学与物理化学 [1]
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氮气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响
期刊论文
中国表面工程, 2011, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 7-12
作者:
李红轩
;
周惠娣
;
吉利
;
陈建敏
;
刘晓红
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提交时间:2012/09/24
磁控溅射
CrAlN 薄膜
微观结构
硬度
腐蚀
magnetron sputtering
CrAlN film
microstructre
hardness
corrosion
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