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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 氮气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响 期刊论文 中国表面工程, 2011, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 7-12 作者:  李红轩;  周惠娣;  吉利;  陈建敏;  刘晓红 收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2012/09/24 磁控溅射  CrAlN 薄膜  微观结构  硬度  腐蚀  magnetron sputtering  CrAlN film  microstructre  hardness  corrosion