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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 Micro/nano film getters for vacuum maintenance of MEMS 其他 2007-01-01 Jin, Yufeng; Tang, Hao; Wang, Zhenfeng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 micro-electro-mechanic systems  vacuum maintenance  film getter   Research on Micro/Nano film getters for vacuum maintenance of MEMS - art. no. 60320B 其他 2006-01-01 Jin, YF; Zhao, Y 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13 nano film  advanced getter  MEMS  vacuum maintenance