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上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2011 [3]
学科主题
Applied; P... [1]
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Analysis of Fringe Effect of MEMS Comb Capacitor with Slot Structures
期刊论文
INTEGRATED FERROELECTRICS, 2011, 卷号: 129, 页码: 122-132
Dong, LX
;
Huo, WH
;
Yan, HX
;
Sun, LL
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浏览/下载：19/0
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提交时间：2012/04/12
TAYLOR & FRANCIS LTD
New Thin-Film Multijunction Thermal Converter Based on P+ Polysilicon/Al Thermocouples
期刊论文
INTEGRATED FERROELECTRICS, 2011, 卷号: 128, 期号: 0, 页码: 8月13日
Han, JQ
;
Mao, CL
;
Zhong, Q
;
Li, Q
;
Yan, TH
收藏
|
浏览/下载：12/0
|
提交时间：2012/04/12
TAYLOR & FRANCIS LTD
Roles of local He concentration and Si sample orientation on cavity growth in amorphous silicon
期刊论文
PHILOSOPHICAL MAGAZINE, 2011, 卷号: 91, 期号: 34, 页码: 4324-4331
Canino, M
;
Regula, G
;
Xu, M(徐明)
;
Ntsoenzok, E
;
Lancin, M
;
Barthe, MF
;
Sauvage, T
;
Oliviero, E
;
Pichaud, B
收藏
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浏览/下载：9/0
|
提交时间：2012/04/10
TAYLOR & FRANCIS LTD
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