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西安交通大学 [2]
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期刊论文 [2]
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2015 [1]
2013 [1]
2008 [1]
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Fabrication of hybrid soft-nanoimprint mold in benign ambient based on thiol-ene
期刊论文
OPTIK, 2015, 卷号: 126, 期号: 23, 页码: 4123-4126
作者:
Zhang, Man
;
Cao, Axiu
;
Shi, Lifang
;
Deng, Qiling
;
Hu, Song
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提交时间:2016/02/03
Soft-nanoimprint lithography
Hybrid mold
Thiol-ene
PDMS
Fabrication of Nanoporous Arrays from Photosensitive Organic-Inorganic Hybrid Materials by Using an UV Soft Nanoimprint Technique
会议论文
作者:
Zhang, Xuehua
;
Que, Wenxiu
;
Hu, Jiaxing
;
Chen, Jin
;
Zhang, Jin
收藏
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浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2019/12/10
AAO Template
Nanoimprint
PDMS Soft Mold
Photosensitive Film
Template fabrication on soft ultravialet nanoimprint lithography
期刊论文
Hsi-An Chiao Tung Ta Hsueh/Journal of Xi'an Jiaotong University, 2008, 卷号: 42, 期号: 7, 页码: 880-884
作者:
Qin, Ge
;
Ding, Yucheng
;
Liu, Hongzhong
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/18
Direct electron beam writing
Mold materials
Photoresist patterns
Polydimethylsiloxane PDMS
Replication accuracies
Soft template
Template fabrication
UV nanoimprint lithography
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