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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文 现代科学仪器, 2004, 期号: 4, 页码: 24-27 作者:  王莉;  张泰华 收藏  |  浏览/下载：1260/8  |  提交时间：2010/05/03 Ni膜微桥  MEMS技术  力学性能   微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 期刊论文 微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 66-71 作者:  张泰华;  王莉 收藏  |  浏览/下载：983/2  |  提交时间：2010/05/03 Ni膜微桥  MEME技术  力学特性