微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究

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	微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究
	张泰华; 王莉
刊名	微细加工技术
	2003-09-30
期号	3 页码:66-71
关键词	Ni膜微桥 MEME技术力学特性
通讯作者	陈吉安
中文摘要	采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190GPa和87MPa。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合。
资助信息	国家重点基础研究发展规划(973)资助项目(G1999033103)
语种	中文
公开日期	2009-08-03 ; 2010-08-20
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/42230]
专题	力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式 GB/T 7714	张泰华,王莉. 微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究[J]. 微细加工技术,2003(3):66-71.
APA	张泰华,&王莉.(2003).微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究.微细加工技术(3),66-71.
MLA	张泰华,et al."微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究".微细加工技术 .3(2003):66-71.