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高密度压电喷墨打印头封装及驱动结构研究 无文献类型
作者:  孟燕子
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/19
应用于喷墨打印头的薄膜驱动器MEMS工艺研究 学位论文
2018
作者:  刘迪
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/26
基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
吕兴东
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/06/02
MEMS静电驱动器的场致电子发射效应研究 期刊论文
半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 925-929+935
作者:  汪为民,王强,邱传凯等
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/22
基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析 期刊论文
半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 704-707
作者:  汪为民,王强,邱传凯等
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/22
基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012
翟雷应
收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2013/04/24
一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKGJ200706015&dbname=CJFQ2007, 2012, 2012
饶伏波; 乔大勇; 苑伟政; 姜澄宇
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2017/06/19
新型静电驱动双向平动MEMS变形镜（英文） 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 10, 期号: 4, 页码: 313-317
作者:  姚军;  陶逢刚;  任豪等
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/22
基于MEMS微镜的可调光学衰减器 期刊论文
光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291
刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2013/02/22
无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781
翟雷应; 徐静; 钟少龙; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/02/22

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