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| 射频微纳谐振器件的稳定性研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者: 王凤翔
  收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2018/05/24
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| 高密度压电喷墨打印头封装及驱动结构研究 无文献类型
作者: 孟燕子
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/11/19
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| 射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
赵继聪
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2017/05/31
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| MEMS颅内微型压力传感器研究 学位论文
2017
作者: 王子溪
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/11/26
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| 硅微振梁式加速度计抗温漂的微结构及工艺设计 期刊论文
2016, 2016
王帆; 董景新; 赵淑明; 严斌; WANG Fan; DONG Jing-xin; ZHAO Shu-ming; YAN Bin
收藏 | 浏览/下载：2/0 |
| RF MEMS开关的封装工艺及性能研究 学位论文
2015
作者: 吴永强
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试 期刊论文
电子与信息学报, 2015
毋正伟; 彭春荣; 杨鹏飞; 闻小龙; 李冰; 夏善红
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 平面电极型MEMS电化学振动传感器设计 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
龚黎明
收藏 | 浏览/下载：55/0 | 提交时间：2014/06/17
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| 谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
曹明威
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2013/06/08
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| 谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
张健
收藏 | 浏览/下载：77/0 | 提交时间：2013/06/07
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