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在金属基底上制作高深宽比金属微光栅的方法 期刊论文
光学精密工程, 2015, 卷号: 23, 页码: 700-707
作者:  杜立群;  鲍其雷;  赵明;  王翱岸
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超声时效技术在微注塑模具制作中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2012, 卷号: 20, 页码: 1250-1256
作者:  杜立群;  李成斌;  李永辉;  于同敏
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2019/12/13
基于LIGA工艺的横向变形MEMS定位机构设计 期刊论文
2010, 2010
李华; 石庚辰; LI Hua; SHI Geng-chen
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分层压印准LIGA工艺中对准系统误差分析和实验研究 期刊论文
装备制造技术, 2010, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 45-47
作者:  王权岱;  向家伟;  杨连发;  段玉岗
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/10
MEMS引信保险装置的制作及铸层结合强度研究 学位论文
: 大连理工大学, 2010
作者:  贾胜芳
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/18
分层压印准LIGA工艺中对准系统误差分析和实验研究 期刊论文
2010, 页码: 45-47
作者:  王权岱;  向家伟;  杨连发;  段玉岗
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/20
硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 期刊论文
仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1
王家畴; 李昕欣; 孙立宁
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聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关研究 学位论文
长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2007
作者:  孔庆峰
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UV-LIGA工艺中SU-8胶内应力和热溶胀性研究 学位论文
: 大连理工大学, 2007
作者:  朱神渺
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/27
基于UV-LIGA技术的微注塑金属模具的工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 页码: 51-54
作者:  杜立群;  秦江;  刘海军;  刘冲;  于同敏
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/27


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