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三维硅基微型储能系统纳米阵列阳极的制备及特性研究 学位论文
2017, 2016
岳闯
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Dry etched sio2 mask for hgcdte etching process 期刊论文
Journal of electronic materials, 2016, 卷号: 45, 期号: 9, 页码: 4705-4710
作者:  Chen, Y. Y.;  Ye, Z. H.;  Sun, C. H.;  Deng, L. G.;  Zhang, S.
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/05/09
侧壁粗化提高GaN基发光二极管出光效率的研究 期刊论文
2015
李晓莹; 朱丽虹; 邓彪; 张玲; 刘维翠; 曾凡明; 刘宝林
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/05/17
Deep reactive ion etching of PZT ceramics and PMN-PT single crystals for high frequency ultrasound transducers 期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2015, 卷号: 41, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: S656-S661
作者:  Zhang, Junshan;  Ren, Wei;  Jing, Xinpan;  Shi, Peng;  Wu, Xiaoqing
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02
A preliminary study of SF6 based inductively coupled plasma etching techniques for beta gallium trioxide thin film 期刊论文
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2015, 卷号: 39, 页码: 582-586
作者:  Liang, Hongwei;  Chen, Yuanpeng;  Xia, Xiaochuan;  Zhang, Chao;  Shen, Rensheng
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/12/09
Electrical properties of Hg1-xCdxTe by different etching techniques 期刊论文
INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2015, 卷号: 73, 页码: 251-254
作者:  Chen, X. T.;  Qiao, H.;  Liu, X. Y.;  Yang, K. J.
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Etching of new phase change material Ti0.5Sb2Te3 by Cl-2/Ar and CF4/Ar inductively coupled plasmas 期刊论文
Applied Surface Science, 2014, 卷号: 311, 期号: 8, 页码: 68-73
作者:  Zhang, Zhonghua;  Song, Sannian;  Song, Zhitang;  Cheng, Yan;  Zhu, Min
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2014/11/11
Investigations on a Multiple Mask Technique to Depress Processing-Induced Damage of ICP-Etched HgCdTe Trenches 期刊论文
J. Electron. Mater, 2013, 卷号: 42, 期号: 11
Z.H. YE; W.D. HU; W. LEI; W. LU; L. HE; L. YANG; P. ZHANG; Y. HUANG; C. LIN; C.H. SUN; X.N. HU; R.J. DING; X.S. CHEN
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2014/11/11
Extended-wavelength 640 x 1 linear InGaAs detector arrays using N-on-P configuration for back illumination 期刊论文
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2012, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 11-+
Zhu, YM; Li, YF; Li, X; Tang, HJ; Shao, XM; Chen, Y; Deng, HH; Wei, P; Zhang, YG; Gong, HM
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/04/17
基于BCl_3感应耦合等离子体的蓝宝石光滑表面刻蚀 期刊论文
2010, 2010
薛小琳; 韩彦军; 张贤鹏; 江洋; 马洪霞; 刘中涛; 罗毅; XUE Xiao-lin; HAN Yan-jun; ZHANG Xian-peng; JIANG Yang; MA Hong-xia; LIU Zhong-tao; LUO Yi
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