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上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2003 [1]
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用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜
会议论文
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003
邢玉梅
;
陶凯
;
俞跃辉
;
宋朝瑞
;
郑志宏
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提交时间:2012/01/18
IBED方法 SOI 氧化铪薄膜 离子束辅助增强沉积系统 X射线衍射技术 电介质绝缘性能
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