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大连理工大学 [25]
金属研究所 [6]
合肥物质科学研究院 [4]
内容类型
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会议论文 [7]
学位论文 [6]
发表日期
2013 [3]
2012 [1]
2011 [3]
2010 [4]
2009 [10]
2008 [3]
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放电气体对ECR-PECVD法制备微晶硅薄膜的影响
期刊论文
材料研究学报, 2013, 期号: 3, 页码: 307-311
程华
;
钱永产
;
薛军
;
吴爱民
;
石南林
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/12/25
材料合成与加工工艺
微晶硅薄膜
ECR-PECVD
放电气体
Ar流量对ECR-PECVD制备氢化纳米晶硅薄膜结构及性能影响研究
期刊论文
人工晶体学报, 2013, 卷号: 42, 页码: 1750-1756
作者:
张学宇
;
吴化
;
刘耀东
;
吴爱民
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/11
nc-Si∶H
Ar/H2
等离子体诊断
ECR-PECVD
Influence of Ar/H-2 ratio on the characteristics of boron-doped nc-Si:H films prepared by electron cyclotron resonance plasma-enhanced chemical vapor deposition
期刊论文
8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE), 2013, 卷号: 228, 页码: S412-S415
作者:
Zhang, Xueyu
;
Wu, Aimin
;
Shi, Shaofei
;
Qin, Fuwen
收藏
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浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2019/12/11
Ar/H-2
P-type nc-Si:H
ECR-PECVD
Langmuir
Influence of Ar/H-2 ratio on the characteristics of phosphorus-doped hydrogenated nanocrystalline silicon films prepared by electron cyclotron resonance plasma-enhanced chemical vapor deposition
期刊论文
3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP), 2012, 卷号: 521, 页码: 181-184
作者:
Zhang, Xueyu
;
Wu, Aimin
;
Shi, Shaofei
;
Qin, Fuwen
;
Bian, Jiming
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/18
Ar/H-2
nc-Si:H
ECR-PECVD
Doping
基片温度对微晶硅薄膜微观结构和光学性能的影响
期刊论文
材料研究学报, 2011, 期号: 4, 页码: 408-412
程华
;
王萍
;
崔岩
;
吴爱民
;
石南林
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/04/12
材料合成与加工工艺
微晶硅薄膜
ECR PECVD
吸收系数
光学带隙
ECR-PECVD制备纳米硅颗粒薄膜
期刊论文
哈尔滨工程大学学报, 2011, 卷号: 32, 页码: 830-834
作者:
胡娟
;
吴爱民
;
岳红云
;
张学宇
;
秦福文
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/18
ECR-PECVD
太阳能电池
薄膜
纳米硅
Preparation of p-type microcrystal Si:H films by ECR-PECVD
会议论文
7th International Forum on Advanced Material Science and Technology, Dalian, PEOPLES R CHINA, 2010-06-26
作者:
Zhang Xue-yu
;
Wu Ai-min
;
Yue Hong-yun
;
Hu Juan
;
Wen Li-shi
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/18
P-type doping
mu c-Si:H film
ECR-PECVD
Hall
用等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜
期刊论文
材料研究学报, 2010, 期号: 5, 页码: 547-549
程华
;
张昕
;
张广城
;
刘汝宏
;
吴爱民
;
石南林
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/04/12
材料合成与加工工艺
微晶硅薄膜
Ar稀释SiH_4
ECR-PECVD
微波功率
高效薄膜太阳电池中纳米硅薄膜的制备和结构研究
学位论文
: 大连理工大学, 2010
作者:
胡娟
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/18
薄膜太阳能电池
纳米硅薄膜
ECR-PECVD
微结构
性能
ECR-PECVD制备n型微晶硅薄膜的研究
期刊论文
人工晶体学报, 2010, 卷号: 39, 页码: 852-856
作者:
张学宇
;
吴爱民
;
冯煜东
;
胡娟
;
岳红云
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/24
ECR-PECVD
磷掺杂
微晶硅薄膜
霍尔测量
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