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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2011 [4]
学科主题
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Characterization of NbAlO dielectric film deposited on InP
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 01A803
He,DW
;
Cheng,XH
;
Xu,DW
;
Wang,ZJ
;
Yu,YH
;
Sun,QQ
;
Zhang,DW
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浏览/下载:44/0
  |  
提交时间:2012/04/10
A V S AMER INST PHYSICS
Interfacial properties of HfO2 dielectric film on Ge substrate
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 01A802
He, DW
;
(程新红)
;
Xu, DW
;
Wang, ZJ
;
Yu, YH
;
Sun, QQ
;
Zhang, DW
收藏
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浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2012/04/10
A V S AMER INST PHYSICS
Influence of pH and abrasive concentration on polishing rate of amorphous Ge2Sb2Te5 film in chemical mechanical polishing
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 11020
Zhang,ZF
;
Liu,WL
;
Song,ZT
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/04/10
A V S AMER INST PHYSICS
Investigation of graphene piezoresistors for use as strain gauge sensors
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 6, 页码: 06FE02
Chen,X
;
Zheng,XH
;
Kim,JK
;
Li,XX
;
Lee,DW
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/04/12
A V S AMER INST PHYSICS
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