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清华大学 [4]
西安交通大学 [1]
内容类型
期刊论文 [5]
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2015 [1]
2010 [4]
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Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation
期刊论文
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 491-495
作者:
Zhao, Yulong
;
Li, Cun
;
Hao, Mengmeng
;
Cheng, Rongjun
;
Fan, Xiaole
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/02
thin film
finite element method
flammable areas
fibre conducts
light intensity modulation
silicon compounds
microsensors
bulk micromachining technology
optical microelectromechanical-system pressure sensor
combustible areas
optical cables
intensity modulation
pressure sensors
silicon diaphragm deformation
micromachining
pressure measurement
finite element analysis
optical cable
reflected light intensity shift
pressure 0 MPa to 20 MPa
signal transmission
photoelectric detection circuit
micro-optomechanical devices
elemental semiconductors
optical modulation
thin films
source light
silicon
fibre optic sensors
Mechanical properties of aluminum alloy at elevated temperature in squeezing casting
期刊论文
2010, 2010
Jia Zhanzhan
;
Zhu Wei
;
Han Zhiqiang
;
Zhao Haidong
;
Liu Baicheng
收藏
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浏览/下载:4/0
Mechanical properties of ZrB/sub 2/-based ceramics reinforced by Nano-SiC whiskers
期刊论文
2010, 2010
Wang, H.
;
Chang-An Wang
;
Rui Zhang
;
Xing Hu
;
Daining Fang
收藏
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浏览/下载:3/0
Machinable Ti/sub 3/AlC/sub 2/ ceramics produced by spark plasma sintering
期刊论文
2010, 2010
Guo Junming
;
Chen Kexin
;
Liu Guanghua
;
Zhou Heping
;
Ning Xiaoshan
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
A study of a composite bipolar plate from PEMFC
期刊论文
2010, 2010
Zou Yan-wen
;
Zhang Jie
;
Zheng Yong-ping
;
Tang Ya-ping
;
Sun Bin
;
He Jun
;
Qiu Xue-liang
收藏
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浏览/下载:6/0
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