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上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2002 [1]
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微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文)
期刊论文
半导体学报, 2002, 期号: 12
鲍敏杭
;
孙远程
;
杨恒
;
王跃林
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提交时间:2012/01/06
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