微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文)

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	微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文)
	鲍敏杭 ; 孙远程 ; 杨恒 ; 王跃林
刊名	半导体学报
	2002
期号	12
关键词	高gn值加速度传感器传感器封装频域分析时域分析
ISSN号	0253-4177
中文摘要	推导建立了一个用于微电子机械 (MEMS)器件压膜空气阻尼的一般化微分方程 .该方程很好地解决了分析有限尺寸孔板的边界和孔板的厚度对压膜阻尼的影响的困难 .结合边界条件求解该方程可以得到各种压膜阻尼结构中的阻尼压强分布和阻尼力 .以长条板为例得到了有限宽度和有限厚度孔板压膜阻尼的压强分布和阻尼力的解析解 ,在非孔板的条件下该解退化为一般传统雷诺方程的解 ,而在无限大薄孔板的极端条件下 ,该解也与传统雷诺方程在此条件下的解相一致 ,进一步证明了该方程的正确性 .因此 ,该一般化的雷诺方程为 MEMS器件的压
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49814]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	鲍敏杭,孙远程,杨恒,等. 微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文)[J]. 半导体学报,2002(12).
APA	鲍敏杭,孙远程,杨恒,&王跃林.(2002).微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文).半导体学报(12).
MLA	鲍敏杭,et al."微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文)".半导体学报 .12(2002).