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集成电路中的晶化点缺陷分析
期刊论文
电子元件与材料, 2014, 卷号: 33, 页码: 87-90
作者:
黄姣英
;
胡振益
;
张晓雯
;
高成
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提交时间:2020/01/06
集成电路
晶化点
缺陷
失效
金属化工艺
可靠性
ALsi金属化工艺和Ti/ALsi金属化工艺对大面积PIN光电二极管芯片暗电流的影响
其他
2001-01-01
王玮
;
张太平
;
宁宝俊
;
王兆江
;
张录
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提交时间:2015/11/11
PIN光电二极管
暗电流要求
溅射
金属化工艺
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