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科研机构
兰州大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1992 [1]
学科主题
702 Electr... [1]
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射频反应性溅射Cd-Sn合金靶沉积透明导电Cd↓2SnO↓4薄膜
期刊论文
太阳能学报/Taiyangneng Xuebao/Acta Energiae Solaris Sinica, 1992, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 118-122
作者:
蒋生蕊
;
彭栋梁
;
孙文红
;
王万录
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提交时间:2015/04/27
射频反应性溅射:6230
Cd_2SnO_4薄膜:4350
Sn合金:3657
透明导电:3182
衬底温度:2985
氧浓度:2195
透光率:1553
溅射室:955
反射率测量:955
混合气氛:881
Alloy Target
Conducting Film Preparation
Oxygen Concentration
Radio Frequency Reactive Sputtering
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