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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 蓝宝石衬底基片CMP数值模拟和实验研究 学位论文 : 江苏大学, 2015 作者:  高翔[1] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24 半导体器件  蓝宝石衬底基片  化学机械抛光技术  数值模拟  加工质量   GaN LED 器件外延膜的激光剥离的研究 学位论文 2009, 2009 黄瑾 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2016/02/14 GaN  激光剥离  蓝宝石衬底抛光  衬底加热  GaN  laser lift-off  polishing technique of sapphire substrate