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| 一种低成本高效率气动式微流控混合器 期刊论文 微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 9, 页码: 588-592, 609 作者: 童兆宏 ; 董再励 ; 刘连庆 ; 姚萍![](/image/person.jpg)
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| 微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备 期刊论文 2013 陶也; 曾毅波; 刘畅; 林杰; 郭航
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| 基于昆虫振动感受器的谐振式硅微机械压力传感器结构设计 会议论文 2012年全国压力计量测试技术交流年会, 北京, 2012-09-12 作者: SHI Huichao; 史慧超; FAN Shangchun; 樊尚春
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| 基于昆虫振动感受器的谐振式硅微机械压力传感器结构设计 期刊论文 计测技术, 2012, 页码: 97-99 作者: 史慧超; 樊尚春
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| 谐振敏感元件特性模拟器的研究 期刊论文 传感技术学报, 2011, 卷号: 24, 页码: 41-45 作者: 邢维巍; 杜艳; 樊尚春
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| 粗糙表面的可控润湿性研究 期刊论文 2010, 2010 朱亮; 冯焱颖; 叶雄英; 武雁斌; 周兆英; ZHU Liang; FENG Yan-ying; YE Xiong-ying; WU Yan-bin; ZHOU Zhao-ying
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| 基于探针形式的硅压阻式三维微力传感器 学位论文 2010 作者: 林启敬
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| 微机械隧道陀螺仪关键工艺及特性研究 学位论文 2009, 2009 王凌云
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| CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究 会议论文 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 徐德辉; 熊斌; 王跃林
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2012/01/18
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| 服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 程融; 蒋珂玮; 李昕欣
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2012/01/18
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