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| 一种低成本高效率气动式微流控混合器 期刊论文
微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 9, 页码: 588-592, 609
作者: 童兆宏 ; 董再励; 刘连庆; 姚萍
  收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2014/11/03
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| 微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备 期刊论文
2013
陶也; 曾毅波; 刘畅; 林杰; 郭航
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 基于昆虫振动感受器的谐振式硅微机械压力传感器结构设计 会议论文
2012年全国压力计量测试技术交流年会, 北京, 2012-09-12
作者: SHI Huichao; 史慧超; FAN Shangchun; 樊尚春
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 基于昆虫振动感受器的谐振式硅微机械压力传感器结构设计 期刊论文
计测技术, 2012, 页码: 97-99
作者: 史慧超; 樊尚春
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 谐振敏感元件特性模拟器的研究 期刊论文
传感技术学报, 2011, 卷号: 24, 页码: 41-45
作者: 邢维巍; 杜艳; 樊尚春
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 粗糙表面的可控润湿性研究 期刊论文
2010, 2010
朱亮; 冯焱颖; 叶雄英; 武雁斌; 周兆英; ZHU Liang; FENG Yan-ying; YE Xiong-ying; WU Yan-bin; ZHOU Zhao-ying
收藏 | 浏览/下载：4/0 |
| 基于探针形式的硅压阻式三维微力传感器 学位论文
2010
作者: 林启敬
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/18
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| 微机械隧道陀螺仪关键工艺及特性研究 学位论文
2009, 2009
王凌云
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/02/14
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| CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究 会议论文
第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009
徐德辉; 熊斌; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
程融; 蒋珂玮; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2012/01/18
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