题名 | 基于探针形式的硅压阻式三维微力传感器 |
作者 | 林启敬 |
答辩日期 | 2010 |
导师 | 蒋庄德 |
关键词 | 微机电系统微力传感器探针压阻效应体硅微机械加工 |
学位名称 | 工学硕士 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 学位论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4812943 |
专题 | 西安交通大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 林启敬. 基于探针形式的硅压阻式三维微力传感器[D]. 2010. |
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