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北京大学 [4]
电子学研究所 [2]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
其他 [3]
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2011 [1]
2006 [2]
2005 [1]
2001 [2]
2000 [1]
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反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响
期刊论文
半导体技术, 2011, 期号: 01
戚玉婕
;
车录锋
;
孙腾
;
王跃林
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/04/13
电容式加速度计
反馈补偿参数
Q值
微机械系统
MATLAB
电容式微加速度计检测电路研究
学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
杨苗苗
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2011/07/19
微电子机械系统
电容式加速度计
扭摆
梳齿
开关式检测电路
电容式微加速度计检测电路研究
学位论文
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
杨苗苗
收藏
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浏览/下载:35/0
  |  
提交时间:2011/07/19
微电子机械系统
电容式加速度计
扭摆
梳齿
开关式检测电路
一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计
期刊论文
纳米技术与精密工程, 2005
宋飞
;
王欣
;
王奕松
;
陈兢
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/11
微机电系统
横向敏感
刚度调节
高K介质
电容式加速度计
一种新型电容式加速度计ASIC接口电路
其他
2001-01-01
郝跃国
;
倪学文
;
武国英
;
郝一龙
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/10/23
电容式加速度计
开关电容
运算放大器
比较器
滤波器
ASIC接口电路
一种新的三轴差分电容式加速度计
其他
2001-01-01
曹新平
;
张大成
;
王阳元
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
电容式
键合
有限元分析
模态
硅微加工
微加速度计
一种高线性度的电容式加速度计
其他
2000-01-01
杨振川
;
微米/纳米加工技术国家重点实验室
;
李志宏
;
微米/纳米加工技术国家重点实验室
;
李婷
;
微米/纳米加工技术国家重点实验室
;
武国英
;
微米/纳米加工技术国家重点实验室
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
有限元模拟
电容式加速度计
线性度
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