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基于无掩模光刻的高精度ITO电极加工工艺研究
期刊论文
2019
作者:
殷艺
;
刘志坚
;
王赛杰
;
武森
;
严志军
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2019/12/26
ITO电极
湿法刻蚀
无掩模光刻
高精度
GaN湿法刻蚀方法及其应用研究
学位论文
: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 2018
作者:
张淼荣
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浏览/下载:60/0
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提交时间:2019/03/28
GaN,湿法刻蚀,电化学传感,表面增强拉曼散射
玻璃基仿生复眼结构的飞秒激光微纳制备研究
学位论文
2018
作者:
魏杨
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/11/26
微透镜阵列
人工复眼
仿生结构
飞秒激光
湿法刻蚀
基于飞秒激光微加工的三维金属微结构的关键制备技术及其应用研究
学位论文
2018
作者:
张弘
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/11/26
飞秒激光湿法刻蚀
微流控芯片
金属微固化
微变压器
温控微反应器
3C-SiC薄膜剥离技术及其表面钝化研究
学位论文
: 西安理工大学, 2018
作者:
张旭辉
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2019/12/20
3C-SiC
薄膜剥离
湿法刻蚀
阳极氧化
S钝化
Si图形化衬底研究及其在3C-SiC生长上的应用
学位论文
: 西安理工大学, 2018
作者:
侯凯文
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/20
图形化衬底
3C-SiC
湿法刻蚀
SEM
表面集成微光学元件垂直腔面发射激光器研究
学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
黄佑文
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/09/23
垂直腔面发射激光器
微透镜
单横模
发散角
扩散限制湿法化学刻蚀
曲面载体三维光学微结构的制备及应用研究
学位论文
2016
作者:
邓泽方
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/11/26
光学微结构
微透镜阵列
飞秒激光
湿法刻蚀
人工复眼
大规模微光学透镜阵列的飞秒激光制备与快速复制
学位论文
2016
作者:
仝思宇
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/02
微透镜阵列
飞秒激光
湿法刻蚀
双焦点微透镜
微流控芯片上集成三维金属微加热器的研制
学位论文
2016
作者:
李彦阳
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2019/12/02
飞秒激光湿法刻蚀
微固化
三维金属微线圈
微加热器
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