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大连理工大学 [4]
内容类型
会议论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2010 [2]
2003 [2]
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Pt/4H—SiC肖特基接触的氢等离子体改性研究
会议论文
第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议, 西安, 2010-10-25
作者:
郑康伟
;
黄玲琴
;
江滢
;
王德君
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/24
Pt/4H-SiC接触
肖特基势垒
界面态密度
氢等离子体清洗
SiC晶圆的ECR氢等离子体清洗研究
会议论文
第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议, 西安, 2010-10-25
作者:
黄玲琴
;
江滢
;
王德君
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提交时间:2019/12/24
氢等离子体清洗
SiC晶圆
电子回旋共振
GaN缓冲层上低温生长AlN单晶薄膜
期刊论文
半导体光电, 2003, 卷号: 24, 页码: 32-36
作者:
秦福文
;
顾彪
;
徐茵
;
杨大智
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提交时间:2020/01/02
AlN
GaN
氢等离子体清洗
氮化
氮化铝单晶薄膜的ECR-PEMOCVD低温生长研究
期刊论文
物理学报, 2003, 卷号: 52, 页码: 1240-1244
作者:
秦福文
;
顾彪
;
徐茵
;
杨大智
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提交时间:2020/01/02
AlN
氢等离子体清洗
氮化
GaN
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