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上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2009 [1]
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注硅工艺对埋氧层中陷阱电荷的影响
会议论文
第十届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会, 2009
王茹
;
张正选
;
俞文杰
;
田浩
;
毕大炜
;
张帅
;
陈明
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提交时间:2012/01/18
总剂量效应 氧化物陷阱电荷 界面态陷阱电荷 注硅工艺 改性加固材料 抗辐射性能 金属氧化物半导体 场效应晶体管
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