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硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化 会议论文
第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
方华军; 刘理天; 任天令; FANG Hua-jun; LIU Li-tian; REN Tian-ling
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用于压电和电容微麦克风的体硅腐蚀相关研究 期刊论文
2010, 2010
贾泽; 杨轶; 陈兢; 刘建设; 任天令; 刘理天; JIA Ze; YANG Yi; CHEN Jing; LIU Jian-she; REN Tian-ling; LIU Li-tian
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硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化 期刊论文
2010, 2010
方华军; 刘理天; 任天令; FANG Hua-jun; LIU Li-tian; REN Tian-ling
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