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	硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化
	方华军 ; 刘理天 ; 任天令 ; FANG Hua-jun ; LIU Li-tian ; REN Tian-ling
	2010-07-15 ; 2010-07-15
会议名称	第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 ; 第十届全国敏感元件与传感器学术会议 ; 中国北京 ; CNKI ; 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
关键词	微麦克风 PZT 压电悬臂梁 microphone PZT piezoelectric cantilever TN642
其他题名	Design and Optimization of Piezoelectric Cantilever Microphone Based on Silicon
中文摘要	设计了一种硅基 PZT 压电悬臂梁式微麦克风。这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性能的关系,分析了影响微麦克风机电性能的多种因素,给出了优化的器件结构和工艺流程。; A piezoelectric cantilever microphone based on silicon was described,which received a coustic pressure with a piezoelectric multimorph cantilever based on silicon.The piezoelectric mi crophone was simulated and optimized with FEA coupling field method,and the relations between structure parameters and the mechanical performance of the microphone were studied.Based on the analyses of mechanical performance,an optimal microphone structure was put forward and an optimal fabricating process was presented.
语种	中文 ; 中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/70121]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	方华军,刘理天,任天令,等. 硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化[C]. 见:第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会.

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