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| 用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术 期刊论文
2016, 卷号: 0, 期号: 3, 页码: 198-198
作者: 周波
  收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/09
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| 微机械器件形状与尺寸的图像测量研究 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JXXB2002S1021&dbname=CJFQ2002, 2012, 2012
邓进军; 苑伟政; 李晓莹; 马炳和
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 微机械器件形状与尺寸的图像测量研究 会议论文
中国辽宁大连 第五届海内外青年设计与制造科学会议
邓进军; 苑伟政; 李晓莹; 马炳和
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/19
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| MEMS技术在流动分离主动控制中的应用 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD201003017&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012
邓进军; 苑伟政; 罗剑; 马炳和; 姜澄宇
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/19
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| RF MEMS器件的研究及其应用前景 期刊论文
电子产品世界, 2003
缪昱; 武国英
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2015/11/11
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| 硅铝结构热堆红外探测器 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2003
刘月英
收藏 | 浏览/下载：43/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 微电子机械系统的研究进展 期刊论文
国外电子元器件, 2001, 期号: 1, 页码: 4-9
作者: 李炳乾; 朱长纯; 刘君华
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/07
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| 硅微机械陀螺接口检测技术的研究 期刊论文
微电子学, 1999, 期号: 5, 页码: 343-346
作者: 李万玉; 阮爱武; 罗晋生; 冯培德
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/07
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| 硅微机械陀螺接口检测技术的研究 期刊论文
微电子学, 1999, 期号: 5, 页码: 40-43
作者: 李万玉; 阮爱武; 罗晋生; 冯培德
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/07
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