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清华大学 [4]
山东大学 [1]
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期刊论文 [3]
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2016 [1]
2010 [4]
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压电和声波理论及器件技术
期刊论文
国际学术动态, 2016, 期号: 05, 页码: 39-41
作者:
于法鹏
;
王春明
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2019/12/17
器件技术,微纳米材料,超声学,中国力学学会,晶体材料,中国声学学会,铁电材料,铁电体,NEMS,会议议题
硅基铁电微声学器件中薄膜残余应力的研究
期刊论文
2010, 2010
杨轶
;
张宁欣
;
任天令
;
刘理天
;
Yang Yi
;
Zhang Ningxin
;
Ren Tianling
;
Liu Litian
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
微声学器件封装特性研究
会议论文
第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
杨轶
;
任天令
;
蔡坚
;
王水第
;
刘理天
;
YANG Yi
;
REN Tian-ling
;
CAI Jian
;
WANG Shui-di
;
LIU Li-tian
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
硅基铁电微声学器件中薄膜残余应力的研究
会议论文
中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(二), 中国微米、纳米技术第七届学术会年会, 中国大连, CNKI, 中国机械工程学会
杨轶
;
张宁欣
;
任天令
;
刘理天
;
Yang Yi
;
Zhang Ningxin
;
Ren Tianling
;
Liu Litian
收藏
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微声学器件封装特性研究
期刊论文
2010, 2010
杨轶
;
任天令
;
蔡坚
;
王水第
;
刘理天
;
YANG Yi
;
REN Tian-ling
;
CAI Jian
;
WANG Shui-di
;
LIU Li-tian
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