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| 高性能微型加热器及其在气体传感器中的应用 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
许磊
  收藏 | 浏览/下载：160/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 桌面式微型工厂原型系统建模研究 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JXQD200104020&dbname=CJFQ2001, 2012, 2012
赵洪策; 苑伟政; 马炳和
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 射频MEMS平面电感的研究 学位论文
2011, 2010
骆明辉
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 亚微米级MEMS薄膜材料基本力学参量测试技术与表征方法研究 学位论文
2008
作者: 周向阳
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/18
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| 基于微纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究 期刊论文
传感技术学报, 2006, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 2149-2152
许媛媛; 边超; 陈绍凤; 夏善红
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2010/05/19
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| 基于微电子机械系统微型光谱仪的研究与进展 期刊论文
冶金分析, 2006, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 40-46
作者: 王永清[1]; 马雯[2]; 王海舟[3]; 李小佳[4]; 娄建中[5]
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/31
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| MEMS面型微加热器的结构设计和制作 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005
吴雷
收藏 | 浏览/下载：124/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 微型爬壁机器人研究的关键技术 期刊论文
机床与液压, 2005, 页码: 4-6,11
作者: 谈士力[1]; 郭成[2]
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/05/10
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| 基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 388-390
裴强; 夏善红; 龚超; 白强; 陈绍凤
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2010/05/19
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| 微型材料的拉伸测试方法研究 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 430
作者: 张泰华 ; 杨业敏; 赵亚溥; 余同希; 孙庆平
收藏 | 浏览/下载：1864/129 | 提交时间：2007/06/15
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