| 题名 | 射频MEMS平面电感的研究; Research of RF-MEMS Planar Inductor |
| 作者 | 骆明辉 |
| 答辩日期 | 2011 ; 2010 |
| 导师 | 郭航 |
| 关键词 | 微型电子机械系统 射频 集成平面电感 品质因数 电镀Cu Micro-electronic mechanical systems radio frequency integrated planar inductor quality factor Copper electroplating |
| 英文摘要 | 集成平面电感是有别于传统绕线电感的一个新的发展方向，利用它可以实现电感器的平面化，与集成电路融和在一起，它是射频通讯电路实现片上系统的关键。如何通过合理优化集成平面电感的工艺参数和几何参数使它的性能最佳是目前国内外研究的重点，也是本文的研究目的。 论文首先建立了集成平面电感的RLC物理模型，给出了电感品质因数Ｑ值和电感量Ｌ值的数学解析计算方法，分析了单π物理模型，对L值计算经典解析式公式Greenhouse算法、三种闭合公式算法进行了比较。并用高精度HFSS三维电磁仿真软件验证了模型的正确性。 本文以电磁学理论为基础，分析了平面电感的损耗机制。结合数学解析式的计算和数值仿真两种方法，研究了...; Integrated planar inductor is different from the traditional winding inductance, which is a new development direction. It can be helpful to achieve planar of inductor, and with integration of the integrated circuit, it is a key chip of RF communication circuit system. How to configure the integrated planar inductor through the rational process and geometrical parameters to optimize its performance...; 学位：理学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院物理学系_无线电物理; 学号：19820071152307 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=26162 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/55183]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 骆明辉. 射频MEMS平面电感的研究, Research of RF-MEMS Planar Inductor[D]. 2011, 2010. |
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