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长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1989 [1]
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用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化
期刊论文
仪器仪表学报, 1989, 期号: 01, 页码: 43-47
王文生
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/03/11
干涉测长:5101
自动测试:4008
测试技术:3576
干涉系统:3379
计算机控制:3193
测试结果:2548
物体:2276
电视监视器:2067
参考反射镜:2036
仪器仪表:1838
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