用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化

	用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化
	王文生
刊名	仪器仪表学报
	1989-03-02
期号	01 页码:43-47
关键词	干涉测长:5101 自动测试:4008 测试技术:3576 干涉系统:3379 计算机控制:3193 测试结果:2548 物体:2276 电视监视器:2067 参考反射镜:2036 仪器仪表:1838
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30508]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王文生. 用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化[J]. 仪器仪表学报,1989(01):43-47.
APA	王文生.(1989).用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化.仪器仪表学报(01),43-47.
MLA	王文生."用泰曼干涉仪实时自动测厚度变化".仪器仪表学报 .01(1989):43-47.