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力学研究所 [1]
兰州大学 [1]
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期刊论文 [2]
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2023 [1]
1990 [1]
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4H-SiC贯穿型位错及其密度分布的表征方法优化
期刊论文
半导体技术, 2023, 卷号: 48, 期号: 11, 页码: 977-984
作者:
章宇
;
陈诺夫
;
张芳
;
余雯静
;
胡文瑞
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提交时间:2024/01/11
SiC
湿法腐蚀
贯穿型位错
位错密度
位错缺陷分布
晶体缺陷规范场中的刃位错
期刊论文
物理学报, 1990, 期号: 10, 页码: 1591-1598
作者:
高飞
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提交时间:2015/04/27
位错芯:6076
规范场:6063
芯区:3153
晶体缺陷:3023
应力场:1824
全一样:1011
算符:928
连续分布:883
无限小位错:783
滞弹性:783
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