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上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
学位论文 [1]
发表日期
2009 [1]
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集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
于海涛
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提交时间:2012/03/06
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