QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 One-step lithography for fabrication of multifunction diffractive structures with grey-tone mask 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2002, 卷号: Vol.61-62, 页码: 165-171 作者:  Fuhua Gao;  Jun Yao;  Yangsu Zeng;  Shiwei Xie;  Yongkang Guo and Zheng Cui 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/02/25 Grey-tone photolithography  Grey scale mask  Beam sampling grating  Colour separation grating   Electron-beam lithography to improve quality of computer-generated hologram 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2002, 卷号: Vol.61-62, 页码: 363-369 作者:  Feng Gao;  Jianhua Zhu;  Qizhong Huang;  Yixiao Zhang;  Yangsu Zeng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/02/25 Computer generated hologram  Electron beam lithography   Investigation of phase shift mask distortion effect 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2002, 卷号: Vol.61-62, 页码: 265-270 作者:  Jinglei Du;  Zheng Cui;  XiaoCong Yuan and Yongkang Guo 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/02/25 Phase shift mask  Optical lithography simulation  Optical proximity effect