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期刊论文 [3]
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2009 [3]
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Effects of Substrate Temperature on the Properties of Mo-doped ZnO Films Prepared by RF Magnetron Sputtering
期刊论文
2009, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 785-788
作者:
Xianwu Xiu[1]
;
Yuping Cao[1]
;
Zhiyong Pang[2]
;
Shenghao Han[2,3]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/28
ZnO薄膜
溅射制备
磁控溅射
钼掺杂
基片温度
射频
性质
衬底温度
Effects of Substrate Temperature on the Properties of Mo-doped ZnO Films Prepared by RF Magnetron Sputtering
期刊论文
2009, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 785-788
作者:
Xiu, Xianwu[2]
;
Cao, Yuping[2]
;
Pang, Zhiyong[1]
;
Han, Shenghao[1,3]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/28
Effects of Substrate Temperature on the Properties of Mo-doped ZnO Films Prepared by RF Magnetron Sputtering
期刊论文
材料科学技术学报:英文版, 2009, 期号: 06
作者:
Xianwu Xiu[1]
;
Yuping Cao[1]
;
Zhiyong Pang[2]
;
Shenghao Han[2,3]
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提交时间:2019/12/26
ZNO薄膜
溅射制备
磁控溅射
钼掺杂
基片温度
射频
性质
衬底温度
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